Обычно используемый датчик давления в полупроводнике использует кремниевую пластину N-типа в качестве субстрата. Во-первых, кремниевая пластина превращается в эластичную стресс-несущую часть с определенной геометрией. В стрессовой части кремниевой пластины четыре диффузионные резисторы P-типа производятся вдоль различных направлений кристаллов, а затем с этими четырьмя резисторами образуется мост с четырьмя руками. Под действием внешней силы изменения значений сопротивления становятся электрическими сигналами. Этот мост Wheatstone с эффектом давления является сердцем датчика давления, который обычно называют пьезорезистивным мостом (как показано на рисунке 1). Характеристики пьезорезистивного моста следующие: ① Значения сопротивления четырех рычагов моста равны (All R0); ② Пьезорезистивный эффект соседних рук моста одинаково по значению и наоборот по знаке; ③ Коэффициент температуры сопротивления четырех рычагов моста одинаков, и они всегда находятся при одинаковой температуре. На рис. 1, R0 - значение сопротивления без напряжения при комнатной температуре; RT - это изменение, вызванное температурным коэффициентом сопротивления (α) при изменении температуры; Υ rΔ - это изменение сопротивления, вызванное деформацией (ε); Выходное напряжение моста составляет u = i0 Δ rΔ = i0rgΔ (мост -источник постоянного тока).

Где I0 является током источника постоянного тока, а E - постоянное напряжение источника напряжения. Выходное напряжение пьезорезистивного моста прямо пропорционально деформации (ε) и не имеет ничего общего с RT, вызванным температурным коэффициентом сопротивления, что значительно снижает дрейф температуры датчика. Наиболее широко используемый датчик давления в полупроводнике является датчиком для обнаружения давления жидкости. Его основная структура - капсула из монокристаллического кремния (как показано на рисунке 2). Диафрагма превращается в чашку, а дно чашки - это часть, которая приносит внешнюю силу, а мост давления производится на дне чашки. Кольцевой пьедестал состоит из того же кремниевого монокристаллического материала, а затем диафрагма связана с пьедесталом. Этот вид датчика давления обладает преимуществами высокой чувствительности, небольшого объема и прочности и широко используется в авиации, космической навигации, инструментах автоматизации и медицинских инструментах.