Применимо к датчику давления топлива в топливной магистрали Passat 06E906051K.

1. Способ изготовления датчика давления, включающий:

Предоставление полупроводниковой подложки, в которой на полупроводниковой подложке сформированы первый межслойный диэлектрический слой, первый межслойный диэлектрический слой и второй межслойный диэлектрический слой.

Нижняя электродная пластина в первом межслоевом диэлектрическом слое, первый общий электрод расположен в том же слое, что и нижняя электродная пластина, и разнесен на расстоянии друг от друга.

Соединение слоев;

Формирование жертвенного слоя над нижней полярной пластинкой;

Формирование верхней электродной пластины на первом межслоевом диэлектрическом слое, первом межсоединенном слое и защитном слое;

После формирования жертвенного слоя и перед формированием верхней пластины в первом соединительном слое

Формирование соединительной канавки и заполнение соединительной канавки верхней пластиной для электрического соединения с первым соединительным слоем; Или,

После формирования верхней электродной пластины в верхней электродной пластине и первом соединительном слое формируются соединительные канавки, которые

Формирование проводящего слоя, соединяющего верхнюю электродную пластину и первый соединительный слой в соединительной канавке;

После электрического соединения верхней пластины и первого соединительного слоя удаляют жертвенный слой с образованием полости.

2. Способ формирования датчика давления по п.1, в котором в первом слое

Способ формирования жертвенного слоя на межслойном диэлектрическом слое включает следующие этапы:

Нанесение слоя жертвенного материала на первый межслойный диэлектрический слой;

Нанесение рисунка на слой жертвенного материала для формирования жертвенного слоя.

3. Способ изготовления датчика давления по п.2, в котором используют фотолитографию и гравировку.

Слой жертвенного материала формируется методом травления.

4. Способ формирования датчика давления по п.3, в котором жертвенный слой

Материал представляет собой аморфный углерод или германий.

5. Способ формирования датчика давления по п.4, в котором жертвенный слой

Материал — аморфный углерод;

Газы травления, используемые в процессе травления жертвенного слоя материала, включают O2, CO, N2 и Ar;

Параметры в процессе травления слоя жертвенного материала: диапазон расхода O2 составляет 18 SCCM ~ 22 SCCM, расход CO составляет 10%.

Скорость потока находится в диапазоне от 90 SCCM до 110 SCCM, скорость потока N2 находится в диапазоне от 90 SCCM до 110 SCCM, а скорость потока Ar.

Диапазон: 90 SCCM ~ 110 SCCM, диапазон давления: 90 ~ 110 мтор, мощность смещения:

540 Вт~660 Вт.