Структура пьезорезистильного датчика

В этом датчике резисторная полоса интегрирована на монокристаллическую кремниевую диафрагму с помощью процесса интеграции для создания кремниевого пьезорезистивного чипа, а периферия этого чипа фиксируется в оболочке, а вывод электродов выводятся. Пьезорезистивный датчик давления, также известный как твердотельный датчик давления, отличается от датчика клея, который должен ощущать внешнюю силу косвенно через эластичные чувствительные элементы, но непосредственно ощущает измеренное давление с помощью кремниевой диафрагмы.

Одной из сторон кремниевой диафрагмы является полость высокого давления, общающуюся с измеренным давлением, а другая-полость низкого давления, общающуюся с атмосферой. Как правило, кремниевая диафрагма предназначена как круг с фиксированной периферией, а соотношение диаметра к толщине составляет около 20 ~ 60. Четыре полоски устойчивости к примеси P расположены локально на циркулярной кремниевой диафрагме и соединены в полный мост, две из которых находятся в зоне сжатия напряжения, а два - в зоне тенсибильной стрессы, которая находится в символиколете.

Кроме того, есть также квадратная кремниевая диафрагма и датчик кремниевой колонны. Силиконовый цилиндрический датчик также изготовлен из резистивных полосок путем диффузии в определенном направлении кристаллической плоскости кремниевого цилиндра, а две резистивные полоски напряжений на растяжение и две резистивные полоски сжимающих напряжений образуют полный мост.

Пьезорезистивный датчик - это устройство, созданное диффузионным сопротивлением на подложке полупроводникового материала в соответствии с пьезорезистительным эффектом полупроводникового материала. Его субстрат может быть непосредственно использован в качестве датчика измерения, а диффузионное сопротивление связано в подложке в виде моста.

Когда субстрат деформируется внешней силой, значения сопротивления изменятся, а мост будет создавать соответствующий несбалансированный выход. Субстраты (или диафрагмы), используемые в качестве пьезорезистивных датчиков, представляют собой в основном кремниевые пластины и германия. Кремниевые пьезорезистивные датчики, изготовленные из кремниевых пластин, поскольку чувствительные материалы привлекают все большее внимание, особенно наиболее широко используются твердотельные пьезорезистильные датчики для измерения давления и скорости.