Датчик давления двигателя 2CP3-68 1946725 для экскаватора Картера

Метод подготовки датчика давления, охарактеризованный путем включения следующих шагов:

S1, обеспечивая пластину с задним поверхностью и передней поверхностью; Образуя пьезорезистирующую полосу и область контакта с тяжелым легированным на передней поверхности пластины; Образуя глубокую полость давления путем травления задней поверхности пластины;

S2, соединяющий лист опор на задней части пластины;

S3, производство ведущих отверстий и металлических проводов на передней стороне пластины и соединение пьезорезистивных полос с образованием моста -пшеничного камня;

S4, откладывание и образование слоя пассивации на передней поверхности пластины и открывающей части слоя пассивации, образуя металлическую площадь. 2. Метод изготовления датчика давления в соответствии с требованиями 1, в котором S1 специфически включает в себя следующие шаги: S11: обеспечение пластины с помощью задней поверхности и передней поверхности и определение толщины чувствительной к давлению пленки на пластине; S12: Иоонная имплантация используется на передней поверхности пластины, пьезорезистивные полоски изготавливаются с помощью высокотемпературного процесса диффузии, а области контакта сильно легируют; S13: осаждение и формирование защитного слоя на передней поверхности пластины; S14: травление и формирование глубокой полости давления на задней части пластины, образуя чувствительную к давлению пленку. 3. Метод производства датчика давления в соответствии с требованиями 1, в котором пластина составляет.

В 1962 году Tufte et al. Изготовил пьезорезизивный датчик давления с диффузированными кремниевыми пьезорезистивными полосками и кремниевой пленочной структурой впервые, и начал исследование датчика пьезорезистильного давления. В конце 1960 -х и начале 1970 -х годов появление трех технологий, а именно: технология анизотропного травления кремния, технология ионной имплантации и технологии анодной связи принесла большие изменения в датчик давления, которые сыграли важную роль в повышении производительности датчика давления. С 1980 -х годов, благодаря дальнейшему развитию технологии микрообработки, такой как анизотропное травление, литография, диффузионное легирование, ионная имплантация, связь и покрытие, размер датчика давления непрерывно уменьшается, чувствительность была улучшена, а выход высокий, а производительность превосходна. В то же время разработка и применение новой технологии микрообработки делают толщину датчика давления точно контролируемой толщиной пленки.