Датчик давления двигателя 2CP3-68 1946725 для экскаватора Carter

Способ изготовления датчика давления, отличающийся тем, что он включает следующие этапы:

S1, обеспечивающий пластину с задней поверхностью и передней поверхностью; Формирование пьезорезистивной полосы и сильнолегированной контактной площадки на лицевой поверхности пластины; Формирование глубокой полости давления путем травления задней поверхности пластины;

S2, приклеивание опорного листа на обратную сторону пластины;

S3: изготовление выводных отверстий и металлических проводов на передней стороне пластины и соединение пьезорезистивных полосок для формирования моста Уитстона;

S4: нанесение и формирование пассивационного слоя на передней поверхности пластины и открытие части пассивационного слоя для формирования области металлической площадки. 2. Способ изготовления датчика давления по п.1, в котором S1, в частности, включает следующие этапы: S11: обеспечение пластины задней поверхностью и передней поверхностью и определение толщины чувствительной к давлению пленки на пластине; S12: на передней поверхности пластины используется ионная имплантация, пьезорезистивные полосы изготавливаются методом высокотемпературной диффузии, а контактные области сильно легируются; S13: осаждение и формирование защитного слоя на передней поверхности пластины; S14: травление и формирование глубокой полости под давлением на обратной стороне пластины для формирования чувствительной к давлению пленки. 3. Способ изготовления датчика давления по п.1, в котором пластина представляет собой КНИ.

В 1962 году Тафте и др. впервые изготовила пьезорезистивный датчик давления с диффузионными кремниевыми пьезорезистивными полосками и кремниевой пленочной структурой и начала исследования пьезорезистивного датчика давления. В конце 1960-х и начале 1970-х годов появление трех технологий, а именно: технологии анизотропного травления кремния, технологии ионной имплантации и технологии анодной сварки, внесло большие изменения в датчик давления, что сыграло важную роль в улучшении характеристик датчика давления. . С 1980-х годов, с дальнейшим развитием технологий микрообработки, таких как анизотропное травление, литография, диффузионное легирование, ионная имплантация, склеивание и покрытие, размер датчика давления постоянно уменьшался, чувствительность улучшалась, а выходная мощность была высокой и исполнение отличное. В то же время разработка и применение новой технологии микрообработки позволяют точно контролировать толщину пленки датчика давления.